1、如果精密行星减速机的表面淬火的淬火层包含齿根底部，则其效果较好。 表面淬火的常用材料是碳质量分数约为0.35%~0.5%的钢材，齿面硬度可达45~55hrc。

2、渗碳淬火渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载能力，但必须采用精加工工艺(刷牙)消除热处理变形，确保精度。 渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度始终在58~62hrc的范围内。 低于57hrc时，牙面强度显着降低，超过62hrc时脆性增加。 轮齿心部硬度一般优选为310~330hbw。 渗碳淬火齿轮的硬度应从齿表面到深层逐渐降低，有效渗碳深度应从表面到深层逐渐降低，有效渗碳深度应从表面到硬度52.5hrc。 渗碳淬火在牙齿弯曲疲劳强度中的作用，除了提高心部硬度外，还有表面残馀压应力，能减少牙齿大张应力区的应力。 因此，磨牙时不能磨牙的根部，切牙时必须使用剩馀量的滚刀。

3 .精密行星减速机的氮化通过采用氮化，在齿的变形小的条件下能够保证高的齿面硬度和耐磨损性，即使热处理后不进行后续的精加工，也能够提高负荷能力。 这对于难以刷牙的内齿轮来说有着特别的意义。

4 .精密行星减速机啮合的齿轮的硬度组合大、小齿轮都是软齿面的情况下，小齿轮的齿面硬度必须比大齿轮高。 另一方面，两轮在硬齿面硬度都高的情况下，采用与两轮相同的硬度。 所选行星齿轮减速机的材料有助于提高高精密行星减速机的承载力和寿命。